小體積、高精度、響應(yīng)速度快 XP-63X系列壓電納米定位臺其*的結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時間可 以實現(xiàn)亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應(yīng)時間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設(shè)備集成。 閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現(xiàn)納米級的精密定位。 傳感器類型 
頻率負載曲線 
應(yīng)用 • 半導(dǎo)體技術(shù) • 納米壓印 • 納米計量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù) •質(zhì)量保證測試 •微加工/精密控制 應(yīng)用實例：宏微復(fù)合機構(gòu) 采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。 |
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